铜隔离区

Brooks 维修服务可以为铜隔离区提供指定产品。

虽然铜污染不会对操纵设备的人员构成健康或安全问题,但要防止无铜工艺和设备在那些铜工艺中被污染,这对服务架构是个挑战。

随着铜计量工艺继续在半导体行业中广泛使用,Brooks Automation 仍致力于将铜工艺中使用的设备仍然返回到隔离区。

为了达到这个要求,所有送到 Brooks Automation 服务中心现场的曾经暴露过铜工艺的设备都会被识别并追踪。