DBM 2400/2700 大气机械手臂维修

Equipe PRI DBM 机械手臂维修

DBM 系列机械手臂是第一个专门设计用于同时处理两片晶圆的产品系列,这款机械手臂具有两个独立的 R(径向)轴。通过两个集成的末端效应器,可将预先对齐的晶圆与已做过工艺的晶圆进行交换,从而使速度比双桨机械手快 25%。此外,双交叉臂设计可最大程度地减少占用空间。高功率的集成放大器与两个末端效应器的结合增加了产量,并且大大减少了晶圆的取放时间。

Brooks 的优势

  • 各种 Brooks Equipe、PRI 和 Yaskawa 机械手臂的“全球一站式”体验
  • 原始设备制造商:产品技术专家和设计工程师
  • 可在所有主要的半导体晶圆厂所在的区域提供维修服务
  • 维修类别:
  • 固定备件交换适用于所有区域
  • 维修新增了产品升级和 CIP服务
  • ISO 认证的维修仅使用 Brooks 部件
  • 统一全球维修作业流程以保持质量和性能的一致性
  • 所有产品的准备时间都是固定的,与服务类别无关
  • 特定的维修协议可用于所有机械手臂

DBM 2400/2700 固定价格机械手臂维修选项

服务级别 说明 保修期
功能维修 提供了最低限度的维修要求,以满足生产测试规范 对于整个部件为 90 天
具有预防性维护的增强维修 功能维修服务及预防性维护,根据需要保护高磨损的部件以防止出现预期失效 对于整个部件为 12 个月
翻新 完全重建部件,以满足 Brooks Engineering 新定义的部件操作规范。必要时组件防护罩也会更换。 对于整个部件为 12 个月

对于需要专业的高质量服务的客户来说,Brooks 认证的维修是一个明智的选择。这些维修旨在优化老化产品的性能,并实现所有自动化设备的最长使用寿命。

DBM 2400/2700 机械手臂维修功能

  • 详细的维修评估报告
  • 坚持完全复制
  • 外壳维修选项
  • 深度故障分析选项

前瞻性协议

对于大量装机的客户,服务协议可以与增强的预防性维护或包括交换的翻新服务一起提供。这些协议提供随时可用的备件以支持运行时间要求。该计划可帮助客户主动管理设备维护,以便减少意外停机时间,同时固定的价格有利于您申请预算或预估维护费用。