视频:Brooks Automation 引领着半导体行业的先进的低温泵市场。

Brooks Automation 引领着半导体行业的先进的低温泵市场。

Brooks 在低温泵技术上的专业性是显而易见的。我们是半导体制造业自动化和低温技术的市场领导者。

我们与超过 200 家 OEM 客户保持着紧密的客户关系。我们的产品能够精确可靠地在受控环境中处理敏感的材料。在过去 40 年中,从第一台用于半导体制造行业的低温泵直到第一台智能泵和变速压缩机,我们一直是低温泵技术和创新技术的领导者。

ON BOARD IS 320FX

On Board IS 320FX 低温泵结合了用于离子注入工艺的多项优势:业界领先的抽速、容量、冷阵寿命和效率。它具备同类产品中最高的氢抽速和容量。通过 FX冷阵设计,还可实现一致的本底压力。始终如一的优异真空表现是这款高级低温泵的品质证明。

IS 320FX 针对离子注入工艺而特别设计,可提供同类产品中最高的氢抽速和容量。此外,320FX 可在再生之间维持 90% 以上的初始抽速,而其他低温泵产品会快速降至其原始速度的 80% 以下

ON BOARD IS 8F

On Board IS 8F XP 低温泵是业界首选的用于前沿沉积工艺的 PVD 泵。8F XP 可提高工作效率、机台利用率和能效,从而降低机台的总体购置成本。

8F XP 的优势包括混合气体工艺的容量大幅增加,从而可延长再生间隔时间,并提高机台利用率。在如今严格受控的工艺环境中,特性一致的重要性不容忽视。 XP 可实现与其前身 8F 完全相同的抽速,并且无数最终用户都验证了在各种工艺和流量下的一致性。

应用工程

Brooks 应用工程团队不懈地关注着客户的需求,并借此来开发其解决方案。

借助我们的技术咨询模式,我们可以对应用进行创新、验证和开发,从而帮助我们的客户取得成功。 

例如,我们的应用团队开发了一个低温泵混合阵列,以解决以下两项挑战:最大限度提高 O2 抽速,同时提供灵活可调的 Ar 抽速。

诸如混合阵列等解决方案是我们通过与客户紧密协作的方式进行开发的,它们可为制程工程师提供工艺优化所需的灵便性和可调性。

另一项挑战来自于设计和测试氙气推进器所需的太空模拟应用。

为此,我们的应用团队再一次开发了独特的解决方案。该方案将 3 个插入式氙泵与两个 On Board 低温泵进行了结合,这个解决方案克服了许多的限制,从而同时解决了抽速和大腔室的挑战。

不论对于培训、简报、升级或技术分析,我们为全球客户提供咨询,并充分利用多年经验来解决问题。

服务

我们可提供全面的服务,并贯彻“全球思维/本地行动”的理念。

通过遍布全球的服务中心和办事处,我们可提供具有保障的正常运行时间支持,并通过快速响应来迅速解决问题,同时提供最佳、可靠的客户支持。

我们的产品专家结合现场服务网络、Brooks University 培训、供应链管理以及众多其他服务方式为客户提供服务。

未来规划

放眼未来的规划,不论在近阶段还是更长的时期内,Brooks 都将继续做好协助半导体制造商获得竞争优势的领头羊。