M1900 全自动 RSP150 存储机
Brooks M1900 RSP150 存储机提供完全自动化的取放功能，并且为每个料盒配备了集成连续吹扫系统。
主要特性
- 全自动 RSP150 操作
- 1 级无尘室/ESD/AMC
- 用于每个隔腔的 N2/XCDA 吹扫
- 吹扫流量验证
- 支持手动备份
- OHT 接口
M1900 全自动 EUV Pod 存储机
Brooks M1900 EUV Pod 存储机提供完全自动化的 EUV Pod取放功能，为每个料舱配备了连续吹扫系统。
主要特性
- 全自动 EUV Pod取放操作
- ISO 2 级无尘室
- ESD 和 AMC 控制环境
- 用于每个隔腔的 N2/XCDA 吹扫
- 吹扫流量验证
- 高真空净化室可去除 AMC 化合物
- 在位测量功能
- 支持手动备份
- OHT 接口
M1900 半自动掩膜版料盒式存储机
Brooks 半自动 M1900 可存储多达 2,680 个掩膜版盒。系统会标识掩膜版盒 ID 并将数据文件记录在数据库中。这可以优化晶圆厂中对掩膜版的跟踪。
主要特性
- 高容量 - 占用空间小
- 掩膜版管理系统
- 快速装载/载卸
- 直观易用的用户界面
