与所有晶圆传送盒兼容
借助两个形状独特的腔室，可清洗和干燥所有符合 SEMI 标准的晶圆传送盒。
全自动处理（AMHS 就绪）
这款全自动节能系统符合 GEM300/AMHS 标准，
可提升效率和清洁性能。
世界一流的清洗和干燥性能
借助世界一流的清洗和干燥性能，可在两个腔室内分别清洗每个晶圆传送盒。纯净水喷射水流会从多个喷嘴中喷出，在腔室内营造出一个小环境。两阶段干燥系统可快速去除水分，保证晶圆传送盒得到充分干燥。
在内部保持 1 类 - 10 类清洁度
电离杆安装在风扇过滤单元和区域传感器下方的晶圆传送盒的入口/出口处，可监控每一个侧面，以确保机器内的清洁度和安全性。通过在可安装组件内保持 1000 类 - 5000 类环境下的 1 类 - 10 类清洁度，可最大程度降低对高级别清洁空间的需要。
热启动方法
借助热启动方法，可在任何时候使用腔室，无需进行预热或花费大量时间进行测试运行
防止交叉污染
首先，会读取晶圆传送盒上的 ID。随后，晶圆传送盒会自动在腔室内进行分拣，以防止交叉污染，并确保最佳的清洗效果。
减轻重量，使系统实现模块化
与原始系统相比，整个系统的重量减轻了 1,000 千克，并且实现了模块化，从而使安装得到了简化。凭借占用空间小的特点，在更改生产线布局时，安装和更换设备都变得非常轻松。
N2 吹扫口干燥（可选）
可选用一个氮气吹扫口，专门用于清洁和干燥晶圆传送盒。
