M600 Automatic RSP Cleaner

M600全自动中央力清洁器是RSP150或RSP200自动清洁的理想解决方案。在手动模式下,可以清洁所有类型的标线或晶圆载体。

主要特性

  • Fully-automated cleaning of RSP150 or RSP200
  • 半自动清洗各种掩膜版/晶圆料盒
  • 内部缓冲器
  • 红外干燥技术
  • 支持手动操作
  • OHT 接口
  • 1 级无尘室和 ESD
  • 符合 SEMI 标准的 SECS/GEM 接口