M800 300mm FOUP 清洗机

M800 全自动 300mm FOUP 清洗机结合了最好的颗粒和 AMC 清洁性能,并提供高产能的湿度控制。内部集成了真空净化室,并由机器人进行装载。

数据表

主要特性

  • 高压去离子水喷洒
  • 分别清洗盖和外壳
  • 盖干洗功能
  • 采用真空净化去除 AMC 化合物
  • FOUP 检查站
  • 每小时处理 20 个 FOUP
  • 红外干燥技术
  • 用于载入端口的 N2/XCDA 吹扫
  • OHT 接口
  • 1 级无尘室
  • 符合 SEMI 标准的 SECS/GEM 接口