CTI-Cryogenics 压缩机

CTI-Cryogenic 压缩机

Brooks CTI-Cryogenics 提供了专门为 On-Board 低温泵、Cryo-Torr 低温泵和/或 On-Board 水泵获得最佳性能而设计的多种压缩机选择。集成的低温泵电源频率转换器可确保在 50 和 60 Hz 的应用中为所有 Brooks 真空泵获取最大低温泵性能。

可用型号:
IS 2000V、IS 1000、9700A、9600、8200

Brooks 的优势

  • 各种 CTI-Cryogenics 低温泵和压缩机的“全球一站式”体验
  • 原始设备制造商:产品技术专家和设计工程师
  • 可在所有主要的半导体晶圆厂所在的区域提供维修服务
  • 所有维修类型均提供一年全面质保
  • 维修类别:
  • 固定备件交换适用于所有区域
  • 维修新增了产品升级和 CIP服务
  • ISO 认证的维修仅使用 Brooks 部件
  • 统一全球维修作业流程以保持质量和性能的一致性
  • 所有产品的准备时间都是固定的,与服务类别无关
  • 特定的维修协议可用于所有机械手臂

压缩机维修-翻新选项

服务类别 型号 交货时间
翻新 包括所有在用的型号。 3-4 周
高级交换 包括所有在用的 IS 型号。* 5-7 个工作日
1 天快速响应交换 包括大多数在用的型号。** 下一个工作日

* 如需任何其他型号,与我们联系。

** 如需了解可用性,与我们联系。

Brooks 认证的维修是客户的正确选择,可提供高质量的专业服务。这些维修旨在优化老化产品的性能,并为所有低温需求获取最佳寿命。

On-Board 低温泵维修特性

  • 可提供性能升级选项
  • 高级评估诊断工具
  • 自动化测试套件
  • 坚持完全复制
  • 深层故障分析选项

前瞻性协议

对于大量装机的客户,服务协议可以与增强的预防性维护或包括交换的翻新服务一起提供。这些协议提供随时可用的备件以支持运行时间要求。该计划可帮助客户主动管理设备维护,以便减少意外停机时间,同时固定的价格有利于您申请预算或预估维护费用。