CTI-Cryogenics On-Board® IS 低温泵

维修-翻新服务

IS 320 FX

Brooks CTI-Cryogenics 智能 On-Board IS 低温泵系统采用创新型高效低温技术,可以提供无与伦比的真空性能和能源效率。获得专利的分布式控制系统监控器及连续可调的低温泵系统独立部件帮助维持最优系统从而实现在较宽真空范围内都有优越的工艺连续性。

Brooks 的优势

  • 各种 CTI-Cryogenics 低温泵和压缩机的“全球一站式”体验
  • 原始设备制造商:产品技术专家和设计工程师
  • 可在所有主要的半导体晶圆厂所在的区域提供维修服务
  • 所有维修类型均提供一年全面质保
  • 维修类别:
  • 固定备件交换适用于所有区域
  • 维修新增了产品升级和 CIP服务
  • ISO 认证的维修仅使用 Brooks 部件
  • 统一全球维修作业流程以保持质量和性能的一致性
  • 所有产品的准备时间都是固定的,与服务类别无关
  • 特定的维修协议可用于所有机械手臂

On-Board 低温泵维修-翻新选项

服务类别 型号 交货时间
翻新 包括所有的在用型号:On-Board IS 8、8F、8F XP、250FE、320FE、320FX 3-4 周
高级交换 包括所有的在用型号:On-Board IS 8、8F、8F XP、250FE、320FE、320FX 5-7 个工作日
1 天快速响应交换 包括大多数在用型号。* 下一个工作日

* 如需了解可用性, 与我们联系。

Brooks 认证的维修是客户的正确选择,可提供高质量的专业服务。这些维修旨在优化老化产品的性能,并为所有低温需求获取最佳寿命。

On-Board 低温泵维修特性

  • 可提供性能升级选项
  • 高级评估诊断工具
  • 自动化测试套件
  • 坚持完全复制
  • 深层故障分析选项

前瞻性协议

对于大量装机的客户,服务协议可以与增强的预防性维护或包括交换的翻新服务一起提供。这些协议提供随时可用的备件以支持运行时间要求。该计划可帮助客户主动管理设备维护,以便减少意外停机时间,同时固定的价格有利于您申请预算或预估维护费用。