Razor™ 大气机械手臂维修

可靠的机械手臂维修

充分利用由 Equipe 和 MagnaTran® 发布的几代自动化标准,Razor™ 大气输送机械手臂提供了高性能、低风险的硬件基础,以满足当今世界级半导体制造商日益严格的自动化要求。

为满足高级半导体制造的清洁标准而特别优化,Razor 的功能包括具有专利的直接驱动技术,从而提供卓越的可靠性和平稳运动控制,以尽可能降低振动,并提供最清洁的微粒性能。Brooks Automation 具有精深的运动控制专业知识,可支持 Razor 机械手臂使用被动边缘触点-而非紧握-的方式输送晶圆,最大程度地进行清洁并保护晶圆,与此同时仍可保持最高水准的产量和重复性。

专门为工艺性和流水线终端可配置性所设计,Razor 模块提供了极高的开箱即用品质,并支持快速产品安装和减少交货时间。Razor 产品利用了高度可配置的 Fusion™ Controls 自动化控制解决方案,以满足多种工具的应用需求。此外,模块化的 Razor 设计支持根据应用需求演变或者机台装运设计变化来无缝更改机台配置。

Razor 大气机械手臂将一流硬件与软件相结合。它开放的架构体系和模块化平台能够使机台满足新兴的自动化需求,同时减少重新验证的需求。Razor 支持快速、直观的设置和安装,并消除了每次机台发布时设计新型自动化解决方案的需求,因此显著减少了交货时间。通过最小化处理、设置和冗余操作步骤,Razor 产品专门为最大化经营效率而设计。Razor 的模块化设计允许客户定制现场可更换单元 (FRU) 包,以与平均修复时间 (MTTR) 策略保持一致并将不定期停机时间降至最低。

Brooks 的优势

  • 各种 Brooks Equipe、PRI 和 Yaskawa 机械手臂的“全球一站式”体验
  • 原始设备制造商:产品技术专家和设计工程师
  • 可在所有主要的半导体晶圆厂所在的区域提供维修服务
  • 维修类别:
  • 固定备件交换适用于所有区域
  • 维修新增了产品升级和 CIP服务
  • ISO 认证的维修仅使用 Brooks 部件
  • 统一全球维修作业流程以保持质量和性能的一致性
  • 所有产品的准备时间都是固定的,与服务类别无关
  • 特定的维修协议可用于所有机械手臂

Razor 标价机械手臂维修选项

服务级别 说明 保修期
功能维修 提供了最低限度的维修要求,以满足生产测试规范 对于整个部件为 90 天
具有预防性维护的增强维修 功能维修服务及预防性维护,根据需要保护高磨损的部件以防止出现预期失效 对于整个部件为 12 个月
翻新 完全重建部件,以满足 Brooks Engineering 新定义的部件操作规范。必要时组件防护罩也会更换。 对于整个部件为 12 个月

对于需要专业的高质量服务的客户来说,Brooks 认证的维修是一个明智的选择。这些维修旨在优化老化产品的性能,并实现所有自动化设备的最长使用寿命。

Razor 机械手臂维修功能

  • 详细的维修评估报告
  • 坚持完全复制
  • 外壳维修选项
  • 深度故障分析选项

前瞻性协议

对于大量装机的客户,服务协议可以与增强的预防性维护或包括交换的翻新服务一起提供。这些协议提供随时可用的备件以支持运行时间要求。该计划可帮助客户主动管理设备维护,以便减少意外停机时间,同时固定的价格有利于您申请预算或预估维护费用。