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      特色产品
      Spartan 300mm 分片机的四个上料口
      Spartan™ 300mm 4 I/O Sorter
       
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              Reliance ATR 大气机械手臂
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              Reliance ATR 系列的机械手臂可以提供久经验证的性能、可靠性和超洁净性，并且利用直接驱动技术和基于 DSP 的控制电子装置。
            • Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
              Razor 机械手臂 FOUP
              Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
              Razor 机械手臂为当今先进的半导体加工操作提供了所需的卓越性能、可靠性和超洁净度。Brooks 运动安装系统、专利动作控制技术和可靠的直接传动机械手，Razor 机械手臂能够使安装更快速、实现高重复性和最大化正常运行时间。
            • Razor™ 晶圆校正器
              大气 Razor 晶圆校正器
              Razor 晶圆校正器
              高性能的大气 Razor 晶圆校正器提供了 200mm、300mm 或 450mm 晶圆的超精确晶圆定位。专门为最佳工艺性所设计，Razor 晶圆校正器和其他 Razor 模块提供了极高的品质，并支持快速产品安装和减少前置时间。
          • 真空机械手臂
             
            • MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran 7 BiSymmetrik 机械手臂
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点，实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。
            • MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran 7 Frogleg 机械手臂
              MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点，实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。
            • MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran 7 Leapfrog 机械手臂
              MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 机械手臂保留了 MagnaTran 产品系列的所有特征和优点，同时在要求严格的多腔室机台应用中具备最高的产量。
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              MagnaTran 7 SCARA 机械手臂
              MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点，实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。
            • MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran 8 QuadraFly 机械手臂
              MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran® 8 QuadraFly 真空机械手臂利用成熟的 SCARA 机械手臂技术和可靠的直接驱动机械手在狭小的密闭回转直径中提供四个真空晶圆的同步交换。
            • MagnaTran® 8 Radius™
              MagnaTran 8 Radius 机械手臂
              MagnaTran® 8 Radius™
              双臂 MagnaTran® 8 Radius™ 机械手臂将 MagnaTran® 8 领域成熟的直接驱动技术的优势扩展到三轴传动驱动器。此外，MagnaTran 利用成熟的 SCARA 机械手臂技术在狭小的密闭直径中提供低于 4 秒钟的快速交换。
          • 组件
             
            • InLigner™
              Inligner
              InLigner
              InLigner 与 MagnaTran 机械手臂协同作业，为 100 到 200 mm 具有缺口或平边基准点的半标准和 Jeida 标准的晶圆提供晶圆定心和边缘基准点校准功能。特殊配置也适用于透明和/或正方形基板（包括最大 6 平方英寸的石英掩膜）。
            • Fusion™ 控件
              Fusion 控件
              Fusion 控件
              业内最灵活和最完整的自动化控制解决方案。Fusion 控件提供了最大化的效能和正常运行时间。完全可定制且非常易于使用，同时可加快上市时间和工具的盈利性。
        • 晶圆传输系统
           
          • 真空系统
             
            • VCE 上料平台
              VCE
              真空晶圆盒升降平台 (VCE) 上料平台
              Brooks VCE 6 真空晶圆盒升降平台上料平台有四种样式来供您的晶圆制造环境选择，提供了具成本效益且最先进的工厂接口来启动安全干净的 AGV、RGV 或操作人员可以输送高达 200mm 的 SEMI 标准晶圆盒。
            • Marathon™ 2 传输系统
              Marathon 2
              Marathon 2 传输系统
              Brooks 先进的真空晶圆传输技术最适合半导体晶圆处理和其他复杂制造环境中的工具自动化应用。我们提供了各种系统—适合从 100mm 到 450mm 晶圆传输的大量配置—满足特殊的制造环境和加工要求。
            • Marathon™ Express
              Marathon Express
              Marathon Express 真空输送系统
              Marathon Express® 针对先进的真空效能和 100mm、125mm、150mm 和 200mm 大小晶圆应用的高吞吐量而优化的模组化、可配置的真空输送系统 (VTS)。
          • 大气系统
             
            • Jet™ 大气输送系统
              Jet 2
              Jet 大气输送系统
              Jet 是所有 Brooks 晶圆承载系统的核心大气自动化子系统，为在系统级别上设计的首个 EFEM，可让客户围绕一个共同的核心构建过程工具。Jet 具备基于行业标准的灵活模组化结构，可实现快速安装、减少循环周期和与现有的晶圆制造设备和过程无缝集成。
        • RFID 和 IR 资产跟踪
        • 工厂自动化解决方案
           
          • Spartan 分片机
            Spartan 300mm 分片机 4个上料口
            Spartan 分片机
            该统一化的晶圆管理系统将使用完成其核心作业所需的最小规模和复杂性，以尽可能干净和快速地移动晶圆。提供了改善后可靠性和最大化的效率，同时提供具有最小颗粒等级的业内领先清洁度。
          • 上料机
             
            • IsoPort™ 300 上料机
              IsoPort
              IsoPort 300 上料机
              高度可配置、自动化的晶圆传动解决方案可轻松地与任何机台集成。同时为过渡到 300mm 晶圆的设备制造商和芯片制造商提供了许多先进的优势。
            • Vision™ 300 上料机
              具有 FOUP 的 Vision 上料机
              Vision 300 上料机
              Vision 上料机模块是 Brooks 提供的最新上料机模块。它是针对 300mm 和 450mm 机台自动化的智能工厂模块。与安装和集成需要大量前期准备时间的 LPM 不同，Vision 上料机专门设计用于最大化互操作系统、无缝互换性和配置的简易性。
            • Certon™ 450 上料机
              Certon 450mm 上料机
              Certon™ 450 上料机
              Certon™ 450mm 上料机符合 450mm FOUP、FOSB 和 MAC（多应用载体）标准。
          • 掩膜版操作
             
            • M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              Brooks M2 掩膜版移栽机是一个掩膜版更换和检查的系统。独立的 I/O 工作站可以在所有扫描仪/分档器和运输箱（如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 箱等）之间输送掩膜版。
            • 窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              提高分划板库存的效益。保护分划板不受颗粒污染和空气分子污染，同时为光刻工具提供了标准的接口。
          • SMIF 解决方案
             
            • SMIF 上料口输送 (LPT)
              SMIF 上料口输送
              SMIF 上料口输送 (LPT)
              SMIF-I/O 的载货(loading)与出货(unloading)过程 符合人体工程学设计, 能够轻松的把SMIF整合安装到各种各样的200mm和150mm晶圆制成机台和量测机台上。
            • SMIF-INX 分度器
              SMIF INX 分度器
              SMIF-INX 分度器
              我们的产品Indexer专门为Z轴无法移动的机械手臂和传送装备, 或者cassette位置固定的机台传送装备而设计,且可以精确侦测晶圆数量和位置。
            • VersaPort™ 2200 加载端口
              VersaPort 2200 SMIF 加载端口
              VersaPort 2200 加载端口
              我们制造业界最先进的200mm标准机械接口 ( SMIF ) I/O 和前端开盒机(Load Port Opener)。与此同时,我们的VersaPort2200还可以提供open cassette到SMIF I/O POD的桥接传送解决方案, 并且设计了200mm到300mm 产品的桥接传送解决方案

    • 半导体污染控制
      特色产品
      M800
      M800 全自动 300 毫米晶圆传送盒清洗机
       
        • 清洗设备
          • FOUP/Pod 清洗机
             
            • M800 300mm FOUP 清洗机
              M800
              M800 300mm FOUP 清洗机
              M800 全自动 300mm FOUP 清洗机结合了最好的粉尘颗粒和 AMC的 清洁性能，提供最优的湿度控制，并同时实现最高产能。
            • M330 全自动晶圆传送盒清洗机
              M330 晶圆传送盒清洗机
              M330 晶圆传送盒全自动清洗机
              M330 清洗机是一款世界一流的与晶圆传送盒兼容的全自动系统，可实现出色的清洗和干燥性能，并且操作简便、经济实惠。
            • M600 自动 Pod 清洗机
              M600
              M600 自动 Pod 清洗机
              M600 全自动离心力清洗机是对 FOUP、FOSB 或 RSP200 进行自动清洗的完美解决方案。在手动模式下，也可以清洗其他所有类型的掩膜版或晶圆料盒。
            • M300 半自动 FOUP/Pod 清洗机
              M300
              M300 半自动 FOUP/Pod 清洗机
              M300 半自动清洗机是一种通用离心力清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（SMIF、开放式晶圆盒、FOUP、FOSB、RSP 和 Clamshell）。可以实现无与伦比的清洗和干燥效果。
          • EUV Pod 清洗机
            M1000
            EUV Pod 清洗机
            M1000 全自动 EUV Pod 清洗机可以对EUV 或 RSP200的每一个 部件独立清洗，从而达到最优的清洗效果。
        • 洁净存储
          • 掩膜版存储机
            • M1500 半自动
              M1500
              M1500 半自动掩膜版料盒式存储机
              Brooks 半自动 M1500 掩膜版料盒式存储机可将存储的掩膜版数量最大化到1500 片。系统会识别掩膜版料盒 ID 并将数据文件记录在数据库中。
            • M1900 掩膜版存储机
              M1900 全自动
              M1900 掩膜版存储机
              M1900 掩膜版存储机的四种机型包括：全自动半裸片式、全自动 RSP150存储机、全自动 EUV POD 存储机、半自动式存储机。
          • Reticle Storage
            Reticle Storage
            • RPS-C Automated Storage and Management System for SMIF Pods
              RPS-C Automated storage and management system for SMIF pods
              RPS-C Automated Storage and Management System for SMIF Pods
              The RPS-C is a fully automated standalone storage and inventory management system for reticle SMIF pods (RSP) with optional xCDA or N2 purge.
            • RS Bare Reticle Stocker Family
              RS Scalable high density bare reticle stocker family
              RS Bare Reticle Stocker Family
              The RS family provides a fully automated reticle management system that combines a sorter with a stocker capacity up to 2900 reticles.
            • RS-C Reticle Storage and Inspection System
              RS-C Flexible and scalable reticle storage and inspection system
              RS-C Reticle Storage and Inspection System
              The RS-C is a fully automated, highly flexible standalone storage and inspection system for 6".
            • RX Reticle Stocker and Carrier Buffer
              RX The innovative combination of reticle stocker and carrier buffer
              RX Reticle Stocker and Carrier Buffer
              The RX family is an innovative combination of reticle stocker and carrier buffer for managing the reticles throughout the fab.
            • RXi Reticle Inspection, Sorting and Storage Platform
              RXi Reticle inspection, sorting and storage platform
              RXi Reticle Inspection, Sorting and Storage Platform
              The RXi is a fully automated standalone inspection system for 6”.
        •  
          • 晶圆料盒和料箱
            • 掩膜版料盒
              大型光学料箱
              掩膜版料盒
              • 大型光学料箱
              • A Rapid
              • B Ultra
              • C Swift
              • D Twin
              • 定制
            • 晶圆料盒
              晶圆料盒 8“
              晶圆料盒
              • 6“ 晶圆料盒
              • 8“ 晶圆料盒
            • 晶圆传输箱
              晶圆料盒传输箱
              晶圆传输箱
              • 200mm 晶圆传输箱
              • 200mm 单片晶圆传输箱
          • 掩膜版操作
             
            • M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              Brooks M2 掩膜版移栽机是一个掩膜版更换和检查的系统。独立的 I/O 工作站可以在所有扫描仪/分档器和运输箱（如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 箱等）之间输送掩膜版。
            • 窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              提高分划板库存的效益。保护分划板不受颗粒污染和空气分子污染，同时为光刻工具提供了标准的接口。
            • ZARIS 掩膜版自动化系统
              ZARIS 掩膜版自动化系统
              ZARIS 掩膜版自动化系统
              以可靠的方式自动匹配大量装运和步进晶圆盒中 5” 和 6” 掩膜版的处理。

    • 生命科学

    • 低温技术
      特色产品
      On-Board IS 低温泵
      On-Board® IS 低温泵
       
        • Brooks CTI-Cryogenics
           
          • 低温泵和压缩机
             
            • On-Board® IS 低温泵系统
              On-Board IS 320 低温泵
              On-Board® IS 低温泵系统
              智能的 On-Board IS 低温泵系统采用创新型高效低温技术，可以提供无与伦比的真空性能和能源效率。获得专利的分布式控制系统监控器及连续可调的低温泵系统独立部件帮助维持最优系统从而实现在较宽真空范围内都有优越的工艺连续性。
            • On-Board® 低温泵
              On-Board IS 低温泵
              On-Board® 低温泵
              On-Board 低温真空泵加速集成和改进的系统操作在可靠性和性能方面已达到世界标准。On-Board 低温泵配有完整的集成控制和外围附件支持，提供了更长的运行时间，从而增加了整体设备的产能和持续性能。
            • Cryo-Torr® 低温泵
              Cryo-Torr 8 低温泵
              Cryo-Torr® 低温泵
              Cryo-Torr 低温泵可以为重要的真空工艺应用提供清洁环境、可靠性能、高抽速。为增加灵活性，您可以添加您自己定制的控制及支持的外围设备，以满足您特定的应用需求。
            • On-Board® 水泵
              On-Board 水泵
              On-Board® 水泵
              On-Board 水泵是高性能真空泵，可以提高水汽抽速，从而大幅提高系统产量并提供更好的工艺结果。
            • 压缩机
              Cryo 压缩机
              压缩机
              Brooks CTI-Cryogenics 提供了专门为 On-Board 低温泵、Cryo-Torr 低温泵和/或 On-Board 水泵获得最佳性能而设计的多种压缩机选择。集成的低温泵电源频率转换器可确保在 50 和 60 Hz 的应用中为所有 Brooks 真空泵获取最大低温泵性能。
        • Brooks Polycold
           
          • 深冷机与低温制冷机
             
            • P-102 深冷泵
              P-102 深冷泵
              P-102 深冷泵
              提供了在小型真空系统内可应用的紧凑的、便携的、易用的可代替液氮的冷却器。这些制冷机有效地消除了为获得类似性能使用液氮带来的花费、不便和危害。
            • PCC 紧凑型深冷泵
              Polycold PCC 组件冷却器
              PCC 紧凑型深冷泵
              PCC 紧凑型冷却器，是一种紧凑的、高性能的冷却系统，它引导了效能和可靠性的新水平，适用于多种苛刻工艺，诸如高分辨率数字成像、分析化学、生命科学、材料分析、半导体检测、科学研究及水蒸气低温捕集。
            • PGC 气体深冷机
              PGC Polycold
              PGC 气体深冷机
              PGC 气体深冷机从室温冷却诸如氮气、氩气、或空气等压缩干气到深冷温度，无需预冷。PGC 气体深冷机采用闭环制冷系统，其利用气体套管式热交换器内的冷媒来冷却非循环的蒸气
            • MaxCool 深冷捕集泵
              XC 深冷捕集泵
              MaxCool 深冷捕集泵
              Polycold MaxCool 深冷机为闭环低温制冷系统，可分别提供最高 2,500W 或 4,000W 的制冷功率。这些深冷机可用于收集水蒸汽和其他可冷凝的物质，方式是将其凝固在一个冷表面上，例如低温盘管或迷宫式障板。MaxCool 深冷机也可用于冷却和加热物件，例如半导体晶圆处理中使用的静电夹头。
            • PFC 水汽深冷机
              PFC Polycold
              PFC 水汽深冷机
              Brooks Polycold® PFC 水汽深冷机可有效捕获水汽。在高真空系统中，气体负载的 65% 至 95% 通常由水汽组成。它可以在启动后的几分钟内抽除水汽，在不到 4 分钟内除霜，在处理过程中降低水汽的部分压力，从而取得更高的质量，更好的附着力以及多重沉积膜特性。
            • Cryodyne 制冷机
              Cryodyne 制冷机
              Cryodyne 制冷机
              Cryodyne 制冷系统是一系列双级、闭式循环氦气制冷机系统，以 Gifford-McMahon 热力循环为基础。它们适用于<10K到>80K的各种商业和研究应用。
            • 冷媒的更换填充
              冷媒的更换填充
              查找适合您型号的制冷剂更换装零件号，以便下订单。
        •  
           

  • 行业应用
    • 半导体机台自动化
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            • 资产跟踪与 RFID
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              Cryo-Torr 8 低温泵
              Cryo-Torr® 低温泵
              • 各种 CTI-Cryogenics 低温泵和压缩机的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
              • 所有维修类型均提供一年全面质保
            • On-Board® 低温泵
              On-Board IS 低温泵
              On-Board® 低温泵
              • 各种 CTI-Cryogenics 低温泵和压缩机的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
              • 所有维修类型均提供一年全面质保
            • On-Board® IS 低温泵
              On-Board IS 320 低温泵
              On-Board® IS 低温泵
              • 各种 CTI-Cryogenics 低温泵和压缩机的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
              • 所有维修类型均提供一年全面质保
            • 压缩机
              Cryo 压缩机
              压缩机
              • 各种 CTI-Cryogenics 低温泵和压缩机的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
              • 所有维修类型均提供一年全面质保
          • 大气机械手臂
             
            • AcuLigner
              Aculigner 机械手臂
              AcuLigner
              AcuLigner™ 大气机械手臂是 Brooks Automation 高性能大气晶圆传动解决方案不可或缺的一部分。这些系统利用直接传动技术和主板控件，在性能和生产效率方面起到关键作用。维修不会造成全面停机。这就是 Brooks 制定标价维修计划来支持 AcuLigner 产品的原因。
            • AcuTran AquaTran
              AquaTran 机械手臂维修
              AcuTran AquaTran
              Brooks 提供有针对性的标价维修服务计划，从而延长机械手臂 AcuTran/AquaTran 7 系列的运营寿命并提高生产效率。
            • MultiTran 5 VacuTran 5
              MultiTran VacuTran 机械手臂维修
              MultiTran 5/VacuTran 5
              MTR 5 M 模型 MultiTran® 5 机械手臂配置了拥有 Brooks 专利的 BiSymmetrik™ 臂和双 SEMI/MESC 兼容末端执行器，它是允许以单独的群组工具处理高吞吐量的真空晶圆处理机械手臂。

              VTR 5 M 模型 VacuTran™ 5 机械手臂是高度可靠的晶圆处理机械手臂，具有 SEMI/MESC 兼容的手臂和末端执行器。VTR 5 M 是顶装机械手臂，一个手臂配置用于大型运输机室模块，例如群组工具中的那些模块。
            • Razor
              Razor 大气机械手臂
              Reliance ATR 8
              Razor 的模块化设计允许客户定制现场可更换单元 (FRU) 包，以与平均修复时间 (MTTR) 策略保持一致并将不定期停机时间降至最低。Brooks 提供标价维修计划来支持 Razor 机械手臂。
            • Reliance ATR 8
              可靠的机械手臂维修
              Reliance ATR 8
              使用 Reliance ATR，超长的维修周期时间可增加成本和意外停机时间。这就是 Brooks 制定标价维修计划来支持 Reliance ATR 的原因。
          • Equipe/PRI 机械手臂
             
            • AxM 100/200/400
              Equipe PRI AxM 机械手臂
              AxM 100/200/400
              • 各种 Brooks Equipe、PRI 和 Yaskawa 机械手臂的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
            • DBM 2400/2700
              Equip PRI DBM 机械手臂维修
              DBM 2400/2700
              • 各种 Brooks Equipe、PRI 和 Yaskawa 机械手臂的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
            • PRE-200™ PreAligner
              Equipe PRI PreAligner
              PRE-200™ PreAligner
              • 各种 Brooks Equipe、PRI 和 Yaskawa 机械手臂的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
          • 真空机械手臂
             
            • MagnaTran 7
              MagnaTran 7 真空机械手臂
              MagnaTran 7
              MagnaTran® 7 (MAG 7) 机械手臂是真空和隔离环境中运行的最先进和最可靠的机械手臂（例如群组工具）。经验证可靠性大于 11.5 MCBF。 使用 MagnaTran 7，超长的维修周期时间可增加成本和意外停机时间。这就是 Brooks 制定标价维修计划来支持 MagnaTran 7 机械手臂的原因。
            • MagnaTran 8
              MagnaTran 8 机械手臂维修
              MagnaTran 8
              Brooks 提供有针对性的标价维修服务计划，从而延长真空机械手臂 MagnaTran 8 系列的运营寿命并提高生产效率。
            • VAC 407
              VAC 407 机械手臂
              VAC 407
              Brooks 提供了有针对性的固定价格维修服务计划，以便提高 VAC-407 真空机械手臂的运行寿命和产能。
          • 机械手臂控制器
            机械手臂控制器
            机械手臂控制器
            Brooks 提供有针对性的标价维修服务计划，从而延长机械手臂控制器的运营寿命并提高生产效率，以适用于 AXM、DBM、AquaTran™/AcuTran® 和 Reliance™ ATR™ 机械手臂系列。
        •  
        • Other Repairs & Exchanges

          为大气机械手臂和真空机械手臂、 真空计、控制器、监控仪和低温泵提供标价维修计划。

          • 铜隔离区
            防止污染非铜工艺和这些工艺中使用的设备。
          • 全球维修点
            在美国、欧洲和亚洲的维修点。
        • 现场服务
           
          • 现场支持
          • 服务协议
          • 晶圆厂产能服务
        • 升级服务
           
          • CTI-Cryogenics
             
            • Cryo 离子注入机升级
            • Cryo PVD 升级
        • 备件

    • 生命科学

  • 教育
      • 产品教育和培训
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    • Semiconductor Automation & Cryogenics
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        • 文档和软件
          • 低温泵和压缩机
            • Polycold 与 CTI-Cryogenics 低温泵
            • 压缩机
          • 深冷机与低温制冷机
            • CTI-Cryogenics 与 Polycold 手册
            • 材料安全数据表
            • 冷媒的更换填充

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