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      特色产品
      Spartan 300mm 分片机的四个上料口
      Spartan™ 300mm 4 I/O Sorter
       
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              MagnaTran 7 BiSymmetrik 机械手臂
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点，实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。
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              MagnaTran 7 Frogleg 机械手臂
              MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点，实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。
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              MagnaTran 7 Leapfrog 机械手臂
              MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 机械手臂保留了 MagnaTran 产品系列的所有特征和优点，同时在要求严格的多腔室机台应用中具备最高的产量。
            • MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran 7 SCARA 机械手臂
              MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点，实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。
            • MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran 8 QuadraFly 机械手臂
              MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran® 8 QuadraFly 真空机械手臂利用成熟的 SCARA 机械手臂技术和可靠的直接驱动机械手在狭小的密闭回转直径中提供四个真空晶圆的同步交换。
            • MagnaTran® 8 Radius™
              MagnaTran 8 Radius 机械手臂
              MagnaTran® 8 Radius™
              双臂 MagnaTran® 8 Radius™ 机械手臂将 MagnaTran® 8 领域成熟的直接驱动技术的优势扩展到三轴传动驱动器。此外，MagnaTran 利用成熟的 SCARA 机械手臂技术在狭小的密闭直径中提供低于 4 秒钟的快速交换。
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            • VCE 上料平台
              VCE
              真空晶圆盒升降平台 (VCE) 上料平台
              Brooks VCE 6 真空晶圆盒升降平台上料平台有四种样式来供您的晶圆制造环境选择，提供了具成本效益且最先进的工厂接口来启动安全干净的 AGV、RGV 或操作人员可以输送高达 200mm 的 SEMI 标准晶圆盒。
            • Marathon™ 2 传输系统
              Marathon 2
              Marathon 2 传输系统
              Brooks 先进的真空晶圆传输技术最适合半导体晶圆处理和其他复杂制造环境中的工具自动化应用。我们提供了各种系统—适合从 100mm 到 450mm 晶圆传输的大量配置—满足特殊的制造环境和加工要求。
            • Marathon™ Express
              Marathon Express
              Marathon Express 真空输送系统
              Marathon Express® 针对先进的真空效能和 100mm、125mm、150mm 和 200mm 大小晶圆应用的高吞吐量而优化的模组化、可配置的真空输送系统 (VTS)。
          • 大气系统
             
            • Jet™ 大气输送系统
              Jet 2
              Jet 大气输送系统
              Jet 是所有 Brooks 晶圆承载系统的核心大气自动化子系统，为在系统级别上设计的首个 EFEM，可让客户围绕一个共同的核心构建过程工具。Jet 具备基于行业标准的灵活模组化结构，可实现快速安装、减少循环周期和与现有的晶圆制造设备和过程无缝集成。
        • RFID 和 IR 资产跟踪
        • 工厂自动化解决方案
           
          • Spartan 分片机
            Spartan 300mm 分片机 4个上料口
            Spartan 分片机
            该统一化的晶圆管理系统将使用完成其核心作业所需的最小规模和复杂性，以尽可能干净和快速地移动晶圆。提供了改善后可靠性和最大化的效率，同时提供具有最小颗粒等级的业内领先清洁度。
          • 上料机
             
            • IsoPort™ 300 上料机
              IsoPort
              IsoPort 300 上料机
              高度可配置、自动化的晶圆传动解决方案可轻松地与任何机台集成。同时为过渡到 300mm 晶圆的设备制造商和芯片制造商提供了许多先进的优势。
            • Vision™ 300 上料机
              具有 FOUP 的 Vision 上料机
              Vision 300 上料机
              Vision 上料机模块是 Brooks 提供的最新上料机模块。它是针对 300mm 和 450mm 机台自动化的智能工厂模块。与安装和集成需要大量前期准备时间的 LPM 不同，Vision 上料机专门设计用于最大化互操作系统、无缝互换性和配置的简易性。
            • Certon™ 450 上料机
              Certon 450mm 上料机
              Certon™ 450 上料机
              Certon™ 450mm 上料机符合 450mm FOUP、FOSB 和 MAC（多应用载体）标准。
          • 掩膜版操作
             
            • M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              Brooks M2 掩膜版移栽机是一个掩膜版更换和检查的系统。独立的 I/O 工作站可以在所有扫描仪/分档器和运输箱（如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 箱等）之间输送掩膜版。
            • 窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              提高分划板库存的效益。保护分划板不受颗粒污染和空气分子污染，同时为光刻工具提供了标准的接口。
          • SMIF 解决方案
             
            • SMIF 上料口输送 (LPT)
              SMIF 上料口输送
              SMIF 上料口输送 (LPT)
              SMIF-I/O 的载货(loading)与出货(unloading)过程 符合人体工程学设计, 能够轻松的把SMIF整合安装到各种各样的200mm和150mm晶圆制成机台和量测机台上。
            • SMIF-INX 分度器
              SMIF INX 分度器
              SMIF-INX 分度器
              我们的产品Indexer专门为Z轴无法移动的机械手臂和传送装备, 或者cassette位置固定的机台传送装备而设计,且可以精确侦测晶圆数量和位置。
            • VersaPort™ 2200 加载端口
              VersaPort 2200 SMIF 加载端口
              VersaPort 2200 加载端口
              我们制造业界最先进的200mm标准机械接口 ( SMIF ) I/O 和前端开盒机(Load Port Opener)。与此同时,我们的VersaPort2200还可以提供open cassette到SMIF I/O POD的桥接传送解决方案, 并且设计了200mm到300mm 产品的桥接传送解决方案

    • 半导体污染控制
      特色产品
      M800
      M800 全自动 300 毫米晶圆传送盒清洗机
       
        • 清洗设备
          • FOUP/Pod 清洗机
             
            • M800 300mm FOUP 清洗机
              M800
              M800 300mm FOUP 清洗机
              M800 全自动 300mm FOUP 清洗机结合了最好的粉尘颗粒和 AMC的 清洁性能，提供最优的湿度控制，并同时实现最高产能。
            • M330 全自动晶圆传送盒清洗机
              M330 晶圆传送盒清洗机
              M330 晶圆传送盒全自动清洗机
              M330 清洗机是一款世界一流的与晶圆传送盒兼容的全自动系统，可实现出色的清洗和干燥性能，并且操作简便、经济实惠。
            • M600 自动 Pod 清洗机
              M600
              M600 自动 Pod 清洗机
              M600全自动中央力清洁器是RSP150或RSP200自动清洁的理想解决方案。在手动模式下，可以清洁所有类型的标线或晶圆载体。
            • M300 半自动 FOUP/Pod 清洗机
              M300
              M300 半自动 FOUP/Pod 清洗机
              M300 半自动清洗机是一种通用离心力清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（SMIF、开放式晶圆盒、FOUP、FOSB、RSP 和 Clamshell）。可以实现无与伦比的清洗和干燥效果。
          • EUV Pod 清洗机
             
            • M1000 EUV Pod 清洗机
              M1000
              EUV Pod 清洗机
              M1000 全自动 EUV Pod 清洗机可以对EUV 或 RSP200的每一个 部件独立清洗，从而达到最优的清洗效果。
        • 洁净存储
          • 掩膜版存储机
            • M1500 半自动
              M1500
              M1500 半自动掩膜版料盒式存储机
              Brooks 半自动 M1500 掩膜版料盒式存储机可将存储的掩膜版数量最大化到1500 片。系统会识别掩膜版料盒 ID 并将数据文件记录在数据库中。
            • M1900 掩膜版存储机
              M1900 全自动
              M1900 掩膜版存储机
              M1900 掩膜版存储机的四种机型包括：全自动半裸片式、全自动 RSP150存储机、全自动 EUV POD 存储机、半自动式存储机。
          • 储存库
            储存库
            • 用于SMIF Pod的RPS-C自动化存储和管理系统
              用于SMIF Pod的RPS-C自动化存储和管理系统
              用于SMIF Pod的RPS-C自动化存储和管理系统
              RPS-C是用于标线SMIF盒（RSP）的全自动独立存储和库存管理系统，具有可选的xCDA或N2吹扫功能。
            • RS Bare Reticle Stocker系列
              RS可扩展高密度裸掩模版储料器系列
              RS Bare Reticle Stocker系列
              RS系列提供了一个全自动的标线管理系统，该系统将分拣器与最多可容纳2900个标线的存储器相结合。
            • RS-C标线存储和检查系统
              RS-C灵活且可扩展的标线存储和检测系统
              RS-C标线存储和检查系统
              RS-C是用于6英寸的全自动，高度灵活的独立存储和检查系统。
            • RX标配储料器和载体缓冲液
              RX标线储料器和载带缓冲装置的创新组合
              RX标配储料器和载体缓冲液
              RX系列是标线存储器和载体缓冲器的创新组合，用于管理整个晶圆厂的标线。
            • RXi标线检查，分类和存储平台
              RXi Reticle检查，分类和存储平台
              RXi标线检查，分类和存储平台
              RXi是适用于6英寸的全自动独立检查系统。
        •  
          • 晶圆料盒和料箱
            • 掩膜版料盒
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              M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              Brooks M2 掩膜版移栽机是一个掩膜版更换和检查的系统。独立的 I/O 工作站可以在所有扫描仪/分档器和运输箱（如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 箱等）之间输送掩膜版。
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              提高分划板库存的效益。保护分划板不受颗粒污染和空气分子污染，同时为光刻工具提供了标准的接口。

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