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      Spartan 300mm 分片机的四个上料口
      Spartan™ 300mm 4 I/O Sorter
       
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              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点，实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。
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              MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 机械手臂保留了 MagnaTran 产品系列的所有特征和优点，同时在要求严格的多腔室机台应用中具备最高的产量。
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              MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) 机械手臂集成了 MagnaTran 产品系列的所有技术优点，实际平均故障周期 (MCBF) 大于 1100 万次。
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              MagnaTran 8 QuadraFly 机械手臂
              MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran® 8 QuadraFly 真空机械手臂利用成熟的 SCARA 机械手臂技术和可靠的直接驱动机械手在狭小的密闭回转直径中提供四个真空晶圆的同步交换。
            • MagnaTran® 8 Radius™
              MagnaTran 8 Radius 机械手臂
              MagnaTran® 8 Radius™
              双臂 MagnaTran® 8 Radius™ 机械手臂将 MagnaTran® 8 领域成熟的直接驱动技术的优势扩展到三轴传动驱动器。此外，MagnaTran 利用成熟的 SCARA 机械手臂技术在狭小的密闭直径中提供低于 4 秒钟的快速交换。
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              VCE
              真空晶圆盒升降平台 (VCE) 上料平台
              Brooks VCE 6 真空晶圆盒升降平台上料平台有四种样式来供您的晶圆制造环境选择，提供了具成本效益且最先进的工厂接口来启动安全干净的 AGV、RGV 或操作人员可以输送高达 200mm 的 SEMI 标准晶圆盒。
            • Marathon™ 2 传输系统
              Marathon 2
              Marathon 2 传输系统
              Brooks 先进的真空晶圆传输技术最适合半导体晶圆处理和其他复杂制造环境中的工具自动化应用。我们提供了各种系统—适合从 100mm 到 450mm 晶圆传输的大量配置—满足特殊的制造环境和加工要求。
            • Marathon™ Express
              Marathon Express
              Marathon Express 真空输送系统
              Marathon Express® 针对先进的真空效能和 100mm、125mm、150mm 和 200mm 大小晶圆应用的高吞吐量而优化的模组化、可配置的真空输送系统 (VTS)。
          • 大气系统
             
            • Jet™ 大气输送系统
              Jet 2
              Jet 大气输送系统
              Jet 是所有 Brooks 晶圆承载系统的核心大气自动化子系统，为在系统级别上设计的首个 EFEM，可让客户围绕一个共同的核心构建过程工具。Jet 具备基于行业标准的灵活模组化结构，可实现快速安装、减少循环周期和与现有的晶圆制造设备和过程无缝集成。
        • RFID 和 IR 资产跟踪
        • 工厂自动化解决方案
           
          • Spartan 分片机
            Spartan 300mm 分片机 4个上料口
            Spartan 分片机
            该统一化的晶圆管理系统将使用完成其核心作业所需的最小规模和复杂性，以尽可能干净和快速地移动晶圆。提供了改善后可靠性和最大化的效率，同时提供具有最小颗粒等级的业内领先清洁度。
          • 上料机
             
            • IsoPort™ 300 上料机
              IsoPort
              IsoPort 300 上料机
              高度可配置、自动化的晶圆传动解决方案可轻松地与任何机台集成。同时为过渡到 300mm 晶圆的设备制造商和芯片制造商提供了许多先进的优势。
            • Vision™ 300 上料机
              具有 FOUP 的 Vision 上料机
              Vision 300 上料机
              Vision 上料机模块是 Brooks 提供的最新上料机模块。它是针对 300mm 和 450mm 机台自动化的智能工厂模块。与安装和集成需要大量前期准备时间的 LPM 不同，Vision 上料机专门设计用于最大化互操作系统、无缝互换性和配置的简易性。
            • Certon™ 450 上料机
              Certon 450mm 上料机
              Certon™ 450 上料机
              Certon™ 450mm 上料机符合 450mm FOUP、FOSB 和 MAC（多应用载体）标准。
          • 掩膜版操作
             
            • M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              Brooks M2 掩膜版移栽机是一个掩膜版更换和检查的系统。独立的 I/O 工作站可以在所有扫描仪/分档器和运输箱（如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 箱等）之间输送掩膜版。
            • 窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              提高分划板库存的效益。保护分划板不受颗粒污染和空气分子污染，同时为光刻工具提供了标准的接口。
          • SMIF 解决方案
             
            • SMIF 上料口输送 (LPT)
              SMIF 上料口输送
              SMIF 上料口输送 (LPT)
              SMIF-I/O 的载货(loading)与出货(unloading)过程 符合人体工程学设计, 能够轻松的把SMIF整合安装到各种各样的200mm和150mm晶圆制成机台和量测机台上。
            • SMIF-INX 分度器
              SMIF INX 分度器
              SMIF-INX 分度器
              我们的产品Indexer专门为Z轴无法移动的机械手臂和传送装备, 或者cassette位置固定的机台传送装备而设计,且可以精确侦测晶圆数量和位置。
            • VersaPort™ 2200 加载端口
              VersaPort 2200 SMIF 加载端口
              VersaPort 2200 加载端口
              我们制造业界最先进的200mm标准机械接口 ( SMIF ) I/O 和前端开盒机(Load Port Opener)。与此同时,我们的VersaPort2200还可以提供open cassette到SMIF I/O POD的桥接传送解决方案, 并且设计了200mm到300mm 产品的桥接传送解决方案

    • 半导体污染控制
      特色产品
      M800
      M800 全自动 300 毫米晶圆传送盒清洗机
       
        • 清洗设备
          • FOUP/Pod 清洗机
             
            • M800 300mm FOUP 清洗机
              M800
              M800 300mm FOUP 清洗机
              M800 全自动 300mm FOUP 清洗机结合了最好的粉尘颗粒和 AMC的 清洁性能，提供最优的湿度控制，并同时实现最高产能。
            • M330 全自动晶圆传送盒清洗机
              M330 晶圆传送盒清洗机
              M330 晶圆传送盒全自动清洗机
              M330 清洗机是一款世界一流的与晶圆传送盒兼容的全自动系统，可实现出色的清洗和干燥性能，并且操作简便、经济实惠。
            • M600 自动 Pod 清洗机
              M600
              M600 自动 Pod 清洗机
              The M600 fully-automatic central force cleaner is the perfect solution for the automatic cleaning of RSP150 or RSP200. In manual mode, all types of reticle or wafer carriers can be cleaned.
            • M300 半自动 FOUP/Pod 清洗机
              M300
              M300 半自动 FOUP/Pod 清洗机
              M300 半自动清洗机是一种通用离心力清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（SMIF、开放式晶圆盒、FOUP、FOSB、RSP 和 Clamshell）。可以实现无与伦比的清洗和干燥效果。
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            • M1000 EUV Pod 清洗机
              M1000
              EUV Pod 清洗机
              M1000 全自动 EUV Pod 清洗机可以对EUV 或 RSP200的每一个 部件独立清洗，从而达到最优的清洗效果。
        • 洁净存储
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            • M1500 半自动
              M1500
              M1500 半自动掩膜版料盒式存储机
              Brooks 半自动 M1500 掩膜版料盒式存储机可将存储的掩膜版数量最大化到1500 片。系统会识别掩膜版料盒 ID 并将数据文件记录在数据库中。
            • M1900 掩膜版存储机
              M1900 全自动
              M1900 掩膜版存储机
              M1900 掩膜版存储机的四种机型包括：全自动半裸片式、全自动 RSP150存储机、全自动 EUV POD 存储机、半自动式存储机。
          • Reticle Storage
            Reticle Storage
            • RPS-C Automated Storage and Management System for SMIF Pods
              RPS-C Automated storage and management system for SMIF pods
              RPS-C Automated Storage and Management System for SMIF Pods
              The RPS-C is a fully automated standalone storage and inventory management system for reticle SMIF pods (RSP) with optional xCDA or N2 purge.
            • RS Bare Reticle Stocker Family
              RS Scalable high density bare reticle stocker family
              RS Bare Reticle Stocker Family
              The RS family provides a fully automated reticle management system that combines a sorter with a stocker capacity up to 2900 reticles.
            • RS-C Reticle Storage and Inspection System
              RS-C Flexible and scalable reticle storage and inspection system
              RS-C Reticle Storage and Inspection System
              The RS-C is a fully automated, highly flexible standalone storage and inspection system for 6".
            • RX Reticle Stocker and Carrier Buffer
              RX The innovative combination of reticle stocker and carrier buffer
              RX Reticle Stocker and Carrier Buffer
              The RX family is an innovative combination of reticle stocker and carrier buffer for managing the reticles throughout the fab.
            • RXi Reticle Inspection, Sorting and Storage Platform
              RXi Reticle inspection, sorting and storage platform
              RXi Reticle Inspection, Sorting and Storage Platform
              The RXi is a fully automated standalone inspection system for 6”.
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          • 晶圆料盒和料箱
            • 掩膜版料盒
              大型光学料箱
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              M2 掩膜版移栽机
              M2 掩膜版移栽机
              Brooks M2 掩膜版移栽机是一个掩膜版更换和检查的系统。独立的 I/O 工作站可以在所有扫描仪/分档器和运输箱（如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 箱等）之间输送掩膜版。
            • 窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              窄型分划板分度器
              提高分划板库存的效益。保护分划板不受颗粒污染和空气分子污染，同时为光刻工具提供了标准的接口。

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              Aculigner 机械手臂
              AcuLigner
              AcuLigner™ 大气机械手臂是 Brooks Automation 高性能大气晶圆传动解决方案不可或缺的一部分。这些系统利用直接传动技术和主板控件，在性能和生产效率方面起到关键作用。维修不会造成全面停机。这就是 Brooks 制定标价维修计划来支持 AcuLigner 产品的原因。
            • AcuTran AquaTran
              AquaTran 机械手臂维修
              AcuTran AquaTran
              Brooks 提供有针对性的标价维修服务计划，从而延长机械手臂 AcuTran/AquaTran 7 系列的运营寿命并提高生产效率。
            • MultiTran 5 VacuTran 5
              MultiTran VacuTran 机械手臂维修
              MultiTran 5/VacuTran 5
              MTR 5 M 模型 MultiTran® 5 机械手臂配置了拥有 Brooks 专利的 BiSymmetrik™ 臂和双 SEMI/MESC 兼容末端执行器，它是允许以单独的群组工具处理高吞吐量的真空晶圆处理机械手臂。

              VTR 5 M 模型 VacuTran™ 5 机械手臂是高度可靠的晶圆处理机械手臂，具有 SEMI/MESC 兼容的手臂和末端执行器。VTR 5 M 是顶装机械手臂，一个手臂配置用于大型运输机室模块，例如群组工具中的那些模块。
            • Razor
              Razor 大气机械手臂
              Reliance ATR 8
              Razor 的模块化设计允许客户定制现场可更换单元 (FRU) 包，以与平均修复时间 (MTTR) 策略保持一致并将不定期停机时间降至最低。Brooks 提供标价维修计划来支持 Razor 机械手臂。
            • Reliance ATR 8
              可靠的机械手臂维修
              Reliance ATR 8
              使用 Reliance ATR，超长的维修周期时间可增加成本和意外停机时间。这就是 Brooks 制定标价维修计划来支持 Reliance ATR 的原因。
          • Equipe/PRI 机械手臂
             
            • AxM 100/200/400
              Equipe PRI AxM 机械手臂
              AxM 100/200/400
              • 各种 Brooks Equipe、PRI 和 Yaskawa 机械手臂的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
            • DBM 2400/2700
              Equip PRI DBM 机械手臂维修
              DBM 2400/2700
              • 各种 Brooks Equipe、PRI 和 Yaskawa 机械手臂的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
            • PRE-200™ PreAligner
              Equipe PRI PreAligner
              PRE-200™ PreAligner
              • 各种 Brooks Equipe、PRI 和 Yaskawa 机械手臂的“全球一站式”体验
              • 原始设备制造商：产品技术专家和设计工程师
              • 在主要的半导体晶圆厂的所有分布区域都能提供维修服务
          • 真空机械手臂
             
            • MagnaTran 7
              MagnaTran 7 真空机械手臂
              MagnaTran 7
              MagnaTran® 7 (MAG 7) 机械手臂是真空和隔离环境中运行的最先进和最可靠的机械手臂（例如群组工具）。经验证可靠性大于 11.5 MCBF。 使用 MagnaTran 7，超长的维修周期时间可增加成本和意外停机时间。这就是 Brooks 制定标价维修计划来支持 MagnaTran 7 机械手臂的原因。
            • MagnaTran 8
              MagnaTran 8 机械手臂维修
              MagnaTran 8
              Brooks 提供有针对性的标价维修服务计划，从而延长真空机械手臂 MagnaTran 8 系列的运营寿命并提高生产效率。
            • VAC 407
              VAC 407 机械手臂
              VAC 407
              Brooks 提供了有针对性的固定价格维修服务计划，以便提高 VAC-407 真空机械手臂的运行寿命和产能。
          • 机械手臂控制器
            机械手臂控制器
            机械手臂控制器
            Brooks 提供有针对性的标价维修服务计划，从而延长机械手臂控制器的运营寿命并提高生产效率，以适用于 AXM、DBM、AquaTran™/AcuTran® 和 Reliance™ ATR™ 机械手臂系列。
        •  
        • Other Repairs & Exchanges

          为大气机械手臂和真空机械手臂、 真空计、控制器、监控仪和低温泵提供标价维修计划。

          • 铜隔离区
            防止污染非铜工艺和这些工艺中使用的设备。
          • 全球维修点
            在美国、欧洲和亚洲的维修点。
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