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全新! 污染控制产品

New automated FOUP and Pod cleaning tools, and new reticle stocker products. Clean material handling minimizes the detrimental effects of airborne molecular contamination (AMC).
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Brooks 大气机械手臂和模块是半导体材料处理应用的工艺设备和群集设备前端中高性能大气晶圆输送解决方案的组成部分。

Razor 大气机械手臂为当今先进的半导体加工操作提供了所需的卓越性能、可靠性和超洁净度。

CTI On-Board IS XP 低温泵

On-Board® IS XP 低温泵为 PVD 应用维持工艺洁净的同时提供容量增加从而实现最大产能。与此同时,它还可为您带来您有望从 On-Board IS 中获得的久经验证的能效、始终如一的卓越性能,以及较低的购置成本。

特色服务

Brooks 提供了有针对性的标价维修服务计划,从而增强真空机械手臂MagnaTran 8 系列的运营寿命和产能

MagnaTran 8 (Mag 8) 机械手臂是真空和隔离环境例如真空群集设备中运行的最先进、性能最佳、最可靠的 Brooks 机械手臂。

green-arrow-li机械手臂及低温泵维修服务

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视频: 观看 Razor 大气输送机械手臂、450mm EFEM 和其他产品 的运行操作。